無料のXPSビューアとピークフィッティング

概要：CSV、VAMAS（.vms）、CasaXPSのテキストを開き、C 1sへの帯電補正、Shirleyまたは直線バックグラウンドの差し引き、スピン軌道ダブレットを含むガウス・ローレンツ型ピークのフィッティング、原子%の算出、サーベイスペクトルでの元素同定ができます。無料でWebブラウザ上で動作し、インストールは不要です。

XPSスペクトルを開き、C 1sへの帯電補正、Shirleyバックグラウンドの差し引き、スピン軌道ダブレットを含むピークフィッティングができます。面積から原子%を求め、サーベイスキャンで元素を見つけられます。ファイルはお使いのデバイスから外に出ません。

XPSビューアの使い方

1. VAMAS、CasaXPS、CSVのファイルを開くか、例のボタンを押します。
2. ファイルが運動エネルギーを使っている場合は、エネルギー軸を「運動エネルギー」にしてAlまたはMg Kαを選びます。
3. 帯電補正には「C 1sから設定」を押すか、シフト量を入力します。
4. 領域を選びます。内殻準位（たとえばC 1s）、バックグラウンド、フィッティング範囲を設定します。
5. 「自動ピーク」を押すか、「ピークを追加」を使ってプロットをタップします。C 1sではテンプレートを読み込めます。その後「フィット」を押します。
6. ピークを編集、固定、ドラッグし、ダブレットを設定して、もう一度「フィット」を押します。スペクトルの下の残差の線を確認します。
7. 原子%の欄、またはサーベイスペクトルでは元素の一覧を読み、PNGまたはフィッティング表付きのCSVをエクスポートします。

XPSスペクトルの読み方

XPS（X線光電子分光法）は、試料の表面から数ナノメートルの範囲で叩き出された電子のエネルギーを測定します。各元素は既知の結合エネルギーに内殻準位を持つため、サーベイスキャンでどの元素が存在するかがわかります。ピークのわずかなずれである化学シフトから化学状態がわかります。たとえばポリマー中のC-C、C-O、C=O、O-C=O、ウェハー上のSiとSiO2などです。

状態を比較するには、バックグラウンド（通常はShirley）を除去し、ピークを成分に分けてフィッティングします。p、d、fの準位は、固定の分裂幅と面積比を持つスピン軌道ダブレットに分裂します（例：Fe 2p3/2とFe 2p1/2）。各面積を感度係数で割ると原子%が得られます。これらの値は装置に依存するため、自分の係数がない限り推定値として使ってください。