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무료 XPS 뷰어 및 피크 피팅

요약: CSV, VAMAS(.vms), CasaXPS 텍스트를 열고, C 1s로 대전 보정하고, Shirley 또는 선형 배경을 빼고, 스핀-궤도 이중선을 포함한 가우스-로렌츠 피크를 피팅하고, 원자 %를 구하고, 서베이에서 원소를 확인하세요. 무료이며 웹 브라우저에서 바로 작동하고 다운로드가 필요 없습니다.

XPS 스펙트럼을 열고, C 1s로 대전 보정하고, Shirley 배경을 빼고, 스핀-궤도 이중선으로 피크를 피팅하세요. 면적으로 원자 %를 구하고 서베이 스캔에서 원소를 찾으세요. 파일은 기기에만 머뭅니다.

XPS 파일 열기

또는 여기에 끌어다 놓으세요. VAMAS(.vms), CasaXPS 텍스트 내보내기 또는 CSV/TXT.

예제 불러오기:

예제는 시뮬레이션 데이터이며 자유롭게 재사용할 수 있습니다. 샘플 .vms 다운로드 (서베이, C 1s, O 1s).

XPS 뷰어 사용 방법

VAMAS, CasaXPS 또는 CSV 파일을 열거나 예제 버튼을 누르세요.
파일이 운동 에너지를 쓴다면 에너지 축을 '운동 에너지'로 설정하고 Al 또는 Mg Kα를 고르세요.
'C 1s로 설정'을 눌러 대전 보정하거나 이동량을 입력하세요.
영역을 고르세요. 내각 준위(예: C 1s), 배경, 피팅 창을 설정하세요.
'자동 피크'를 누르거나 '피크 추가'를 사용해 그래프를 탭하세요. C 1s는 템플릿을 불러올 수 있습니다. 그다음 '피팅'을 누르세요.
피크를 편집, 고정 또는 드래그하고, 이중선을 설정한 뒤 다시 '피팅'을 누르세요. 스펙트럼 아래의 잔차 선을 확인하세요.
원자 % 상자나 서베이의 원소 목록을 읽고, 피팅 표와 함께 PNG나 CSV로 내보내세요.

XPS 스펙트럼 읽기

XPS(X선 광전자 분광법)는 시료 표면 몇 나노미터에서 튀어나온 전자의 에너지를 측정합니다. 각 원소는 알려진 결합 에너지에 내각 준위를 가지므로, 서베이 스캔으로 어떤 원소가 있는지 알 수 있습니다. 피크의 작은 이동인 화학적 이동은 화학 상태를 알려 줍니다: 고분자의 C-C, C-O, C=O, O-C=O, 또는 웨이퍼의 Si와 SiO2.

상태를 비교하려면 배경(보통 Shirley)을 빼고 피크를 성분들로 피팅하세요. p, d, f 준위는 고정된 간격과 면적비를 가진 스핀-궤도 이중선으로 갈라집니다(예: Fe 2p3/2와 Fe 2p1/2). 각 면적을 감도 계수로 나누면 원자 %가 됩니다. 이 수치는 장비에 따라 달라지므로, 자체 계수가 없다면 추정치로 사용하세요.

자주 묻는 질문

내 데이터가 업로드되나요?

아니요. 파일은 브라우저에서만 읽고, 피팅하고, 그려집니다.

어떤 파일을 열 수 있나요?

VAMAS .vms 파일(대부분의 XPS 소프트웨어가 내보낼 수 있는 ISO 14976 표준, 일반 스캔), K.E. 또는 B.E. 열이 있는 CasaXPS 텍스트 내보내기, 에너지 열과 세기 열이 있는 일반 CSV 또는 TXT. 여러 영역이 있는 파일은 영역마다 탭으로 표시됩니다.

운동 에너지를 결합 에너지로 어떻게 바꾸나요?

에너지 축을 '운동 에너지'로 설정하고 X선 광원을 고르세요. 도구는 BE = hν − KE를 사용하며, hν는 Al Kα에 1486.6 eV, Mg Kα에 1253.6 eV, 또는 직접 입력한 값입니다. 대부분의 장비처럼 분광계 일함수는 보정에 포함된 것으로 가정합니다.

대전 보정은 어떻게 하나요?

절연성 시료는 대전되어 모든 피크가 같은 양만큼 이동합니다. 흔한 해결법은 외래 탄소의 C-C / C-H 피크를 284.8 eV로 옮기는 것입니다. 'C 1s로 설정'을 누르거나 이동량을 입력하세요. 기준값은 바꿀 수 있습니다(285.0 eV를 쓰는 실험실도 있음). 이 기준은 한계가 알려진 관례이므로 어떤 값을 썼는지 밝히세요.

Shirley 배경이란 무엇인가요?

피크의 높은 결합 에너지 쪽에서, 낮은 결합 에너지 쪽 피크 면적에 비례해 올라가는 계단 모양의 배경입니다. 빠져나오는 도중 에너지를 조금 잃는 전자를 모형화합니다. 선형 배경은 피팅 창 양 끝을 잇는 직선입니다.

피크에는 어떤 선 모양을 쓰나요?

CasaXPS와 같은 종류의 가우스-로렌츠 곱 GL(m)을 씁니다. m은 로렌츠 비율로, 0은 순수 가우스, 100은 순수 로렌츠입니다. 고분자와 산화물에는 흔히 30에서 시작합니다. 금속은 비대칭 모양이 필요한 경우가 많은데, 이 도구는 이를 모형화하지 않으므로 금속 피크는 주의해서 피팅하세요.

스핀-궤도 이중선은 어떻게 처리하나요?

피크를 p, d 또는 f 이중선으로 설정하면 짝 피크가 고정된 간격과 면적비로 추가됩니다: p는 1:2(2p1/2 : 2p3/2), d는 2:3, f는 3:4. 간격은 흔한 원소에 대한 내장 표에서 가져오며 편집할 수 있습니다.

원자 % 값은 얼마나 정확한가요?

감도 계수만큼만 정확합니다. 내장 계수는 Al Kα에 대한 근사적인 Scofield형 값이며, 분석기 투과율이나 탈출 깊이를 반영하지 않습니다. 실제 수치를 원하면 장비 라이브러리의 계수를 입력하세요. 서베이는 피팅한 좁은 스캔보다 대략적인 추정치를 줍니다.

제안된 귀속은 어디서 나오나요?

일반 지식을 바탕으로 이 도구를 위해 작성한, 흔한 원소와 화학 상태의 대표적인 결합 에너지 표에서 나옵니다. 문헌값은 몇십 분의 1 eV씩 차이가 나므로, 제안은 출발점으로 삼고 기준 시료나 데이터베이스와 대조해 확인하세요.

최종 업데이트: 2026년 10월 14일