MolDraw › Công cụ hóa học › Trình xem XPS
Trình xem XPS và khớp pic miễn phí
Tóm tắt: Mở file CSV, VAMAS (.vms) hoặc văn bản CasaXPS, hiệu chỉnh điện tích theo C 1s, trừ nền Shirley hoặc tuyến tính, khớp pic Gaussian-Lorentzian với doublet spin-orbit, tính % nguyên tử và xác định nguyên tố trong phổ quét tổng quát. Miễn phí, chạy trên trình duyệt web và không cần tải về.
Mở phổ XPS, hiệu chỉnh điện tích theo C 1s, trừ nền Shirley và khớp pic với doublet spin-orbit. Tính % nguyên tử từ diện tích và tìm nguyên tố trong phổ quét tổng quát. File của bạn vẫn nằm trên thiết bị của bạn.
hoặc thả file vào đây. VAMAS (.vms), file văn bản xuất từ CasaXPS hoặc CSV/TXT.
Các ví dụ được mô phỏng và có thể dùng lại tự do. Tải file .vms mẫu (quét tổng quát, C 1s và O 1s).
Vùng và nền
Khớp pic
Khóa (🔒) giữ cố định một giá trị khi khớp. Ở chế độ Di chuyển pic, kéo một pic trên đồ thị để đặt vị trí và chiều cao của nó. Các pic đi kèm trong doublet giữ nguyên khoảng tách và tỉ lệ diện tích.
Nguyên tố trong phổ quét tổng quát
% nguyên tử từ các vùng đã khớp
Cách dùng trình xem XPS
- Mở file VAMAS, CasaXPS hoặc CSV, hoặc nhấn một nút ví dụ.
- Nếu file của bạn dùng động năng, đặt trục năng lượng là Động năng và chọn Al hoặc Mg Kα.
- Nhấn Đặt theo C 1s để hiệu chỉnh điện tích, hoặc nhập độ dịch.
- Chọn một vùng. Đặt mức lõi (ví dụ C 1s), nền và cửa sổ khớp.
- Nhấn Tự động thêm pic, hoặc dùng Thêm pic và chạm vào đồ thị. Với C 1s, bạn có thể tải mẫu có sẵn. Sau đó nhấn Khớp.
- Sửa, khóa hoặc kéo pic, đặt doublet, và nhấn Khớp lại. Kiểm tra đường phần dư bên dưới phổ.
- Đọc ô % nguyên tử, hoặc danh sách nguyên tố với phổ quét tổng quát, và xuất PNG hoặc CSV kèm bảng khớp.
Đọc phổ XPS
XPS (phổ quang điện tử tia X) đo năng lượng của các electron bị bứt ra từ vài nanomet trên cùng của mẫu. Mỗi nguyên tố có các mức lõi ở năng lượng liên kết đã biết, nên phổ quét tổng quát cho biết có những nguyên tố nào. Những dịch chuyển nhỏ của pic, gọi là độ dịch chuyển hóa học, cho biết trạng thái hóa học: C-C, C-O, C=O và O-C=O trong polymer, hoặc Si và SiO2 trên tấm wafer.
Để so sánh các trạng thái, hãy loại bỏ nền (thường là Shirley) và khớp pic bằng các thành phần. Các mức p, d và f tách thành doublet spin-orbit với khoảng tách và tỉ lệ diện tích cố định, ví dụ Fe 2p3/2 và Fe 2p1/2. Chia mỗi diện tích cho hệ số độ nhạy sẽ cho % nguyên tử. Các con số này phụ thuộc vào thiết bị, nên hãy dùng chúng như ước tính trừ khi bạn có hệ số riêng.
Câu hỏi thường gặp
Dữ liệu của tôi có bị tải lên không?
Không. File chỉ được đọc, khớp và vẽ trong trình duyệt của bạn.
Có thể mở những file nào?
File VAMAS .vms (chuẩn ISO 14976 mà hầu hết phần mềm XPS đều xuất được, dạng quét thông thường), file văn bản xuất từ CasaXPS có cột K.E. hoặc B.E., và file CSV hoặc TXT thông thường có một cột năng lượng và một cột cường độ. File có nhiều vùng sẽ hiển thị mỗi vùng thành một tab.
Làm sao đổi động năng sang năng lượng liên kết?
Đặt trục năng lượng là Động năng và chọn nguồn tia X. Công cụ dùng BE = hν − KE với hν = 1486,6 eV cho Al Kα hoặc 1253,6 eV cho Mg Kα, hoặc giá trị bạn tự nhập. Công thoát của máy phổ được giả định đã tính trong hiệu chuẩn, như hầu hết các thiết bị.
Hiệu chỉnh điện tích hoạt động như thế nào?
Mẫu cách điện bị tích điện, nên mọi pic đều dịch chuyển một lượng như nhau. Cách khắc phục thông thường là dịch pic C-C / C-H của carbon bám bẩn (adventitious carbon) về 284,8 eV. Nhấn Đặt theo C 1s, hoặc nhập độ dịch. Giá trị chuẩn có thể thay đổi (một số phòng thí nghiệm dùng 285,0 eV). Cách chuẩn này là một quy ước có những hạn chế đã biết, nên hãy nêu rõ giá trị bạn dùng.
Nền Shirley là gì?
Một nền dạng bậc thang tăng lên ở phía năng lượng liên kết cao của pic, tỉ lệ với diện tích pic ở phía năng lượng liên kết thấp hơn. Nó mô hình hóa các electron mất một ít năng lượng trên đường thoát ra. Nền tuyến tính là một đường thẳng nối hai đầu của cửa sổ khớp.
Pic dùng dạng đường nào?
Tích Gaussian-Lorentzian, GL(m), cùng loại mà CasaXPS sử dụng. m là phần trăm Lorentzian: 0 là Gaussian thuần và 100 là Lorentzian thuần. 30 là giá trị khởi đầu phổ biến cho polymer và oxide. Kim loại thường cần dạng bất đối xứng, điều mà công cụ này không mô hình hóa, nên hãy cẩn thận khi khớp pic kim loại.
Doublet spin-orbit được xử lý như thế nào?
Đặt một pic là doublet p, d hoặc f và pic đi kèm sẽ được thêm với khoảng tách cố định và tỉ lệ diện tích cố định: 1:2 cho p (2p1/2 : 2p3/2), 2:3 cho d và 3:4 cho f. Khoảng tách lấy từ bảng có sẵn cho các nguyên tố phổ biến và có thể chỉnh sửa.
Giá trị % nguyên tử chính xác đến mức nào?
Chúng chỉ chính xác bằng hệ số độ nhạy. Các hệ số có sẵn là giá trị gần đúng kiểu Scofield cho Al Kα và không tính đến hệ số truyền của bộ phân tích hay độ sâu thoát. Để có số liệu thực, hãy nhập hệ số từ thư viện của thiết bị bạn dùng. Phổ quét tổng quát cho ước tính thô hơn so với phổ quét hẹp đã khớp.
Các gợi ý gán pic lấy từ đâu?
Từ bảng năng lượng liên kết điển hình của các nguyên tố và trạng thái hóa học phổ biến, được soạn cho công cụ này từ kiến thức chung. Giá trị trong tài liệu dao động vài phần mười eV, nên hãy coi gợi ý là điểm khởi đầu và đối chiếu với mẫu chuẩn hoặc cơ sở dữ liệu.
Cập nhật lần cuối: