免费 XPS 查看器与峰拟合

简而言之：打开 CSV、VAMAS（.vms）或 CasaXPS 文本，以 C 1s 进行荷电校正，扣除 Shirley 或线性背景，用自旋-轨道双峰拟合高斯-洛伦兹峰，计算原子百分比并识别全谱中的元素。免费使用，在网页浏览器中运行，无需下载。

打开 XPS 谱图，以 C 1s 进行荷电校正，扣除 Shirley 背景，并用自旋-轨道双峰拟合峰。由峰面积得到原子百分比，并在全谱中找出元素。你的文件保留在你的设备上。

如何使用 XPS 查看器

1. 打开 VAMAS、CasaXPS 或 CSV 文件，或点击示例按钮。
2. 如果你的文件使用动能，请将能量轴设为“动能”并选择 Al 或 Mg Kα。
3. 点击“由 C 1s 设定”进行荷电校正，或输入位移值。
4. 选择一个区域。设置芯能级（例如 C 1s）、背景和拟合窗口。
5. 点击“自动寻峰”，或使用“添加峰”并点击图。对于 C 1s，可以载入模板。然后点击“拟合”。
6. 编辑、锁定或拖动峰，设置双峰，然后再次点击“拟合”。检查谱图下方的残差线。
7. 读取原子百分比框，或全谱的元素列表，并导出 PNG 或带拟合表的 CSV。

如何解读 XPS 谱图

XPS（X 射线光电子能谱）测量从样品表层几纳米内被激发出的电子的能量。每种元素的芯能级都有已知的结合能，因此全谱扫描可以告诉你存在哪些元素。峰的微小位移，即化学位移，反映化学态：例如聚合物中的 C-C、C-O、C=O 和 O-C=O，或硅片上的 Si 和 SiO2。

要比较不同化学态，需扣除背景（通常为 Shirley 背景）并用多个组分拟合峰。p、d 和 f 能级会分裂为具有固定分裂间距和面积比的自旋-轨道双峰，例如 Fe 2p3/2 和 Fe 2p1/2。将各峰面积除以灵敏度因子即可得到原子百分比。这些数值取决于你的仪器，因此除非你有自己的因子，否则请把它们当作估算值。