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title: "免费在线 XPS 查看器与峰拟合：Shirley 背景、双峰、原子百分比 | MolDraw"
url: https://www.moldraw.com/zh/tools/xps-viewer/
description: "免费在线 XPS 查看器。打开 CSV、VAMAS（.vms）或 CasaXPS 文本，以 C 1s 进行荷电校正，扣除 Shirley 或线性背景，用自旋-轨道双峰拟合高斯-洛伦兹峰，计算原子百分比并识别全谱中的元素。"
lang: zh-CN
publisher: Scidart Academy
generated: 2026-10-25
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[MolDraw](https://www.moldraw.com/zh/) › [化学工具](https://www.moldraw.com/zh/tools/) › XPS 查看器

# 免费 XPS 查看器与峰拟合

**简而言之：**打开 CSV、VAMAS（.vms）或 CasaXPS 文本，以 C 1s 进行荷电校正，扣除 Shirley 或线性背景，用自旋-轨道双峰拟合高斯-洛伦兹峰，计算原子百分比并识别全谱中的元素。免费使用，在网页浏览器中运行，无需下载。

打开 XPS 谱图，以 C 1s 进行荷电校正，扣除 Shirley 背景，并用自旋-轨道双峰拟合峰。由峰面积得到原子百分比，并在全谱中找出元素。你的文件保留在你的设备上。

打开 XPS 文件

或拖放到此处。支持 VAMAS（.vms）、CasaXPS 文本导出文件或 CSV/TXT。

载入示例：

示例为模拟数据，可自由使用。[下载示例 .vms](https://www.moldraw.com/tools/xps-viewer/sample-xps.vms)（全谱、C 1s 和 O 1s）。

## 如何使用 XPS 查看器

1. 打开 VAMAS、CasaXPS 或 CSV 文件，或点击示例按钮。
2. 如果你的文件使用动能，请将能量轴设为“动能”并选择 Al 或 Mg Kα。
3. 点击“由 C 1s 设定”进行荷电校正，或输入位移值。
4. 选择一个区域。设置芯能级（例如 C 1s）、背景和拟合窗口。
5. 点击“自动寻峰”，或使用“添加峰”并点击图。对于 C 1s，可以载入模板。然后点击“拟合”。
6. 编辑、锁定或拖动峰，设置双峰，然后再次点击“拟合”。检查谱图下方的残差线。
7. 读取原子百分比框，或全谱的元素列表，并导出 PNG 或带拟合表的 CSV。

## 如何解读 XPS 谱图

XPS（X 射线光电子[能谱](https://www.moldraw.com/guides/)）测量从样品表层几纳米内被激发出的电子的能量。每种元素的芯能级都有已知的**结合能**，因此全谱扫描可以告诉你存在哪些元素。峰的微小位移，即**化学位移**，反映化学态：例如聚合物中的 C-C、C-O、C=O 和 O-C=O，或硅片上的 Si 和 SiO2。

要比较不同化学态，需扣除背景（通常为 **Shirley** 背景）并用多个组分拟合峰。p、d 和 f 能级会分裂为具有固定分裂间距和面积比的**自旋-轨道双峰**，例如 Fe 2p3/2 和 Fe 2p1/2。将各峰面积除以**灵敏度因子**即可得到原子百分比。这些数值取决于你的仪器，因此除非你有自己的因子，否则请把它们当作估算值。

## 常见问题

### 我的数据会被上传吗？

不会。文件只在你的浏览器中读取、拟合和绘制。

### 可以打开哪些文件？

VAMAS .vms 文件（大多数 XPS 软件都能导出的 ISO 14976 标准格式，常规扫描）、带 K.E. 或 B.E. 列的 CasaXPS 文本导出文件，以及含能量列和强度列的普通 CSV 或 TXT。包含多个区域的文件会把每个区域显示为一个标签页。

### 如何把动能换算为结合能？

将能量轴设为“动能”并选择 X 射线源。工具按 BE = hν − KE 计算，其中 Al Kα 的 hν = 1486.6 eV，Mg Kα 为 1253.6 eV，也可以自行输入。与大多数仪器一样，假定谱仪功函数已包含在校准中。

### 荷电校正是如何进行的？

绝缘样品会荷电，使所有峰平移相同的量。常用的校正方法是把外来污染碳的 C-C / C-H 峰移到 284.8 eV。点击“由 C 1s 设定”，或直接输入位移值。参考值可以修改（有些实验室使用 285.0 eV）。这一参考是一种有已知局限性的惯例，请注明你所采用的数值。

### 什么是 Shirley 背景？

一种台阶状背景，在峰的高结合能一侧升高，升高量与较低结合能处的峰面积成正比。它模拟的是电子在逸出过程中损失少量能量。线性背景则是拟合窗口两端之间的一条直线。

### 峰采用什么线形？

高斯-洛伦兹乘积线形 GL(m)，与 CasaXPS 所用的相同。m 是洛伦兹成分的百分比：0 为纯高斯，100 为纯洛伦兹。对于聚合物和氧化物，30 是常用的起始值。金属通常需要不对称线形，本工具不支持，因此拟合金属峰时请谨慎。

### 自旋-轨道双峰如何处理？

把一个峰设为 p、d 或 f 双峰后，会以固定的分裂间距和固定的面积比添加其伴峰：p 为 1:2（2p1/2 : 2p3/2），d 为 2:3，f 为 3:4。分裂间距来自内置的常见元素表，并可编辑。

### 原子百分比的准确度如何？

其准确度取决于灵敏度因子。内置因子是针对 Al Kα 的近似 Scofield 型数值，不包括你的分析器透过率或逸出深度。如需可靠数值，请输入你的仪器库中的因子。全谱给出的估算比拟合后的窄扫描更粗略。

### 建议的归属来自哪里？

来自一张常见元素及其化学态的典型结合能表，该表是根据一般知识为本工具编写的。文献中的数值会相差零点几 eV，因此请把建议作为起点，并与参考样品或数据库进行核对。

最后更新：2026年10月14日

## 相关工具与指南

还可以继续使用[红外光谱查看器](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html)、[拉曼光谱查看器](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html)和 [UV-Vis 光谱查看器](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html)。它们都是免费的，并在浏览器中运行。

[**红外光谱查看器**找峰并识别官能团](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html)[**拉曼光谱查看器**基线、尖峰和谱带](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html)[**紫外-可见光谱查看器**最大吸收波长、朗伯-比尔定律、带隙](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html)[**循环伏安查看器**E1/2、峰电位差、HOMO/LUMO](https://www.moldraw.com/tools/cv-viewer/index.html)[**TGA 和 DSC 查看器**失重、Tg、熔融、ΔH](https://www.moldraw.com/tools/tga-dsc-viewer/index.html)[**元素周期表**交互式元素数据](https://www.moldraw.com/zh/tools/free-chem-tools/interactive-periodic-table.html)[**波谱指南**全部谱图解读指南](https://www.moldraw.com/guides/)[**MolDraw 全部工具指南**所有免费工具汇于一处](https://www.moldraw.com/blog/moldraw-all-free-chemistry-tools-guide.html)