--- title: "Trình xem XPS và khớp pic trực tuyến miễn phí: Shirley, doublet, % nguyên tử | MolDraw" url: https://www.moldraw.com/vi/tools/xps-viewer/ description: "Trình xem XPS trực tuyến miễn phí. Mở file CSV, VAMAS (.vms) hoặc văn bản CasaXPS, hiệu chỉnh điện tích theo C 1s, trừ nền Shirley hoặc tuyến tính, khớp pic Gaussian-Lorentzian với doublet spin-orbit, tính % nguyên tử và xác định nguyên tố trong phổ quét tổng quát." lang: vi publisher: Scidart Academy generated: 2026-10-25 --- [MolDraw](https://www.moldraw.com/vi/) › [Công cụ hóa học](https://www.moldraw.com/vi/tools/) › Trình xem XPS # Trình xem XPS và khớp pic miễn phí **Tóm tắt:** Mở file CSV, VAMAS (.vms) hoặc văn bản CasaXPS, hiệu chỉnh điện tích theo C 1s, trừ nền Shirley hoặc tuyến tính, khớp pic Gaussian-Lorentzian với doublet spin-orbit, tính % nguyên tử và xác định nguyên tố trong phổ quét tổng quát. Miễn phí, chạy trên trình duyệt web và không cần tải về. Mở phổ XPS, hiệu chỉnh điện tích theo C 1s, trừ nền Shirley và khớp pic với doublet spin-orbit. Tính % nguyên tử từ diện tích và tìm nguyên tố trong phổ quét tổng quát. File của bạn vẫn nằm trên thiết bị của bạn. Mở file XPS hoặc thả file vào đây. VAMAS (.vms), file văn bản xuất từ CasaXPS hoặc CSV/TXT. Tải ví dụ: Các ví dụ được mô phỏng và có thể dùng lại tự do. [Tải file .vms mẫu](https://www.moldraw.com/tools/xps-viewer/sample-xps.vms) (quét tổng quát, C 1s và O 1s). ## Cách dùng trình xem XPS 1. Mở file VAMAS, CasaXPS hoặc CSV, hoặc nhấn một nút ví dụ. 2. Nếu file của bạn dùng động năng, đặt trục năng lượng là Động năng và chọn Al hoặc Mg Kα. 3. Nhấn Đặt theo C 1s để hiệu chỉnh điện tích, hoặc nhập độ dịch. 4. Chọn một vùng. Đặt mức lõi (ví dụ C 1s), nền và cửa sổ khớp. 5. Nhấn Tự động thêm pic, hoặc dùng Thêm pic và chạm vào đồ thị. Với C 1s, bạn có thể tải mẫu có sẵn. Sau đó nhấn Khớp. 6. Sửa, khóa hoặc kéo pic, đặt doublet, và nhấn Khớp lại. Kiểm tra đường phần dư bên dưới phổ. 7. Đọc ô % nguyên tử, hoặc danh sách nguyên tố với phổ quét tổng quát, và xuất PNG hoặc CSV kèm bảng khớp. ## Đọc phổ XPS XPS ([phổ](https://www.moldraw.com/guides/) quang điện tử tia X) đo năng lượng của các electron bị bứt ra từ vài nanomet trên cùng của mẫu. Mỗi nguyên tố có các mức lõi ở **năng lượng liên kết** đã biết, nên phổ quét tổng quát cho biết có những nguyên tố nào. Những dịch chuyển nhỏ của pic, gọi là **độ dịch chuyển hóa học**, cho biết trạng thái hóa học: C-C, C-O, C=O và O-C=O trong polymer, hoặc Si và SiO2 trên tấm wafer. Để so sánh các trạng thái, hãy loại bỏ nền (thường là **Shirley**) và khớp pic bằng các thành phần. Các mức p, d và f tách thành **doublet spin-orbit** với khoảng tách và tỉ lệ diện tích cố định, ví dụ Fe 2p3/2 và Fe 2p1/2. Chia mỗi diện tích cho **hệ số độ nhạy** sẽ cho % nguyên tử. Các con số này phụ thuộc vào thiết bị, nên hãy dùng chúng như ước tính trừ khi bạn có hệ số riêng. ## Câu hỏi thường gặp ### Dữ liệu của tôi có bị tải lên không? Không. File chỉ được đọc, khớp và vẽ trong trình duyệt của bạn. ### Có thể mở những file nào? File VAMAS .vms (chuẩn ISO 14976 mà hầu hết phần mềm XPS đều xuất được, dạng quét thông thường), file văn bản xuất từ CasaXPS có cột K.E. hoặc B.E., và file CSV hoặc TXT thông thường có một cột năng lượng và một cột cường độ. File có nhiều vùng sẽ hiển thị mỗi vùng thành một tab. ### Làm sao đổi động năng sang năng lượng liên kết? Đặt trục năng lượng là Động năng và chọn nguồn tia X. Công cụ dùng BE = hν − KE với hν = 1486,6 eV cho Al Kα hoặc 1253,6 eV cho Mg Kα, hoặc giá trị bạn tự nhập. Công thoát của máy phổ được giả định đã tính trong hiệu chuẩn, như hầu hết các thiết bị. ### Hiệu chỉnh điện tích hoạt động như thế nào? Mẫu cách điện bị tích điện, nên mọi pic đều dịch chuyển một lượng như nhau. Cách khắc phục thông thường là dịch pic C-C / C-H của carbon bám bẩn (adventitious carbon) về 284,8 eV. Nhấn Đặt theo C 1s, hoặc nhập độ dịch. Giá trị chuẩn có thể thay đổi (một số phòng thí nghiệm dùng 285,0 eV). Cách chuẩn này là một quy ước có những hạn chế đã biết, nên hãy nêu rõ giá trị bạn dùng. ### Nền Shirley là gì? Một nền dạng bậc thang tăng lên ở phía năng lượng liên kết cao của pic, tỉ lệ với diện tích pic ở phía năng lượng liên kết thấp hơn. Nó mô hình hóa các electron mất một ít năng lượng trên đường thoát ra. Nền tuyến tính là một đường thẳng nối hai đầu của cửa sổ khớp. ### Pic dùng dạng đường nào? Tích Gaussian-Lorentzian, GL(m), cùng loại mà CasaXPS sử dụng. m là phần trăm Lorentzian: 0 là Gaussian thuần và 100 là Lorentzian thuần. 30 là giá trị khởi đầu phổ biến cho polymer và oxide. Kim loại thường cần dạng bất đối xứng, điều mà công cụ này không mô hình hóa, nên hãy cẩn thận khi khớp pic kim loại. ### Doublet spin-orbit được xử lý như thế nào? Đặt một pic là doublet p, d hoặc f và pic đi kèm sẽ được thêm với khoảng tách cố định và tỉ lệ diện tích cố định: 1:2 cho p (2p1/2 : 2p3/2), 2:3 cho d và 3:4 cho f. Khoảng tách lấy từ bảng có sẵn cho các nguyên tố phổ biến và có thể chỉnh sửa. ### Giá trị % nguyên tử chính xác đến mức nào? Chúng chỉ chính xác bằng hệ số độ nhạy. Các hệ số có sẵn là giá trị gần đúng kiểu Scofield cho Al Kα và không tính đến hệ số truyền của bộ phân tích hay độ sâu thoát. Để có số liệu thực, hãy nhập hệ số từ thư viện của thiết bị bạn dùng. Phổ quét tổng quát cho ước tính thô hơn so với phổ quét hẹp đã khớp. ### Các gợi ý gán pic lấy từ đâu? Từ bảng năng lượng liên kết điển hình của các nguyên tố và trạng thái hóa học phổ biến, được soạn cho công cụ này từ kiến thức chung. Giá trị trong tài liệu dao động vài phần mười eV, nên hãy coi gợi ý là điểm khởi đầu và đối chiếu với mẫu chuẩn hoặc cơ sở dữ liệu. Cập nhật lần cuối: ngày 14 tháng 10 năm 2026 ## Công cụ & hướng dẫn liên quan Tiếp tục với [trình xem phổ IR](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html), [trình xem phổ Raman](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html) và [trình xem phổ UV-Vis](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html). Tất cả đều miễn phí và chạy trên trình duyệt. [**Trình xem phổ IR**Tìm pic và nhóm chức](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html)[**Trình xem phổ Raman**Đường nền, gai nhiễu và các dải](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html)[**Trình xem phổ UV-Vis**Lambda max, Beer-Lambert, độ rộng vùng cấm](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html)[**Trình xem quét thế vòng tuần hoàn (CV)**E1/2, khoảng cách pic, HOMO/LUMO](https://www.moldraw.com/tools/cv-viewer/index.html)[**Trình xem TGA và DSC**Mất khối lượng, Tg, nóng chảy, ΔH](https://www.moldraw.com/tools/tga-dsc-viewer/index.html)[**Bảng tuần hoàn**Dữ liệu nguyên tố tương tác](https://www.moldraw.com/vi/tools/free-chem-tools/interactive-periodic-table.html)[**Hướng dẫn quang phổ**Tất cả hướng dẫn đọc phổ](https://www.moldraw.com/guides/)[**Hướng dẫn về mọi công cụ MolDraw**Mọi công cụ miễn phí ở một nơi](https://www.moldraw.com/blog/moldraw-all-free-chemistry-tools-guide.html)