---
title: "โปรแกรมดู XPS และการฟิตพีกออนไลน์ฟรี: Shirley ดับเบลต์ ร้อยละอะตอม | MolDraw"
url: https://www.moldraw.com/th/tools/xps-viewer/
description: "โปรแกรมดู XPS ออนไลน์ฟรี เปิดไฟล์ CSV, VAMAS (.vms) หรือข้อความจาก CasaXPS แก้ไขประจุด้วย C 1s หักพื้นหลังแบบ Shirley หรือเส้นตรง ฟิตพีกแบบ Gaussian-Lorentzian พร้อมดับเบลต์สปิน-ออร์บิท หาร้อยละอะตอม และระบุธาตุในการสแกนแบบสำรวจ"
lang: th
publisher: Scidart Academy
generated: 2026-10-25
---
[MolDraw](https://www.moldraw.com/th/) › [เครื่องมือเคมี](https://www.moldraw.com/th/tools/) › โปรแกรมดู XPS

# โปรแกรมดู XPS และการฟิตพีกฟรี

**สรุปสั้น ๆ:** เปิดไฟล์ CSV, VAMAS (.vms) หรือข้อความจาก CasaXPS แก้ไขประจุด้วย C 1s หักพื้นหลังแบบ Shirley หรือเส้นตรง ฟิตพีกแบบ Gaussian-Lorentzian พร้อมดับเบลต์สปิน-ออร์บิท หาร้อยละอะตอม และระบุธาตุในการสแกนแบบสำรวจ ใช้งานฟรี ทำงานในเว็บเบราว์เซอร์ และไม่ต้องดาวน์โหลด

เปิดสเปกตรัม XPS แก้ไขประจุด้วย C 1s หักพื้นหลังแบบ Shirley และฟิตพีกพร้อมดับเบลต์สปิน-ออร์บิท หาร้อยละอะตอมจากพื้นที่ และหาธาตุในการสแกนแบบสำรวจ ไฟล์ของคุณอยู่บนอุปกรณ์ของคุณเท่านั้น

เปิดไฟล์ XPS

หรือลากมาวางที่นี่ VAMAS (.vms) ข้อความที่ส่งออกจาก CasaXPS หรือ CSV/TXT

โหลดตัวอย่าง:

ตัวอย่างเป็นข้อมูลจำลองและนำไปใช้ซ้ำได้ฟรี [ดาวน์โหลดไฟล์ .vms ตัวอย่าง](https://www.moldraw.com/tools/xps-viewer/sample-xps.vms) (การสแกนแบบสำรวจ C 1s และ O 1s)

## วิธีใช้โปรแกรมดู XPS

1. เปิดไฟล์ VAMAS, CasaXPS หรือ CSV หรือกดปุ่มตัวอย่าง
2. หากไฟล์ใช้พลังงานจลน์ ให้ตั้งแกนพลังงานเป็น พลังงานจลน์ แล้วเลือก Al หรือ Mg Kα
3. กด ตั้งจาก C 1s เพื่อแก้ไขประจุ หรือพิมพ์ค่าการเลื่อน
4. เลือกช่วง ตั้งระดับแกน (เช่น C 1s) พื้นหลัง และหน้าต่างการฟิต
5. กด พีกอัตโนมัติ หรือใช้ เพิ่มพีก แล้วแตะกราฟ สำหรับ C 1s คุณโหลดแม่แบบได้ จากนั้นกด ฟิต
6. แก้ไข ล็อก หรือลากพีก ตั้งดับเบลต์ แล้วกด ฟิต อีกครั้ง ตรวจดูเส้นส่วนเหลือ (residual) ใต้สเปกตรัม
7. อ่านกล่องร้อยละอะตอม หรือรายการธาตุสำหรับการสแกนแบบสำรวจ แล้วส่งออก PNG หรือ CSV พร้อมตารางการฟิต

## การอ่านสเปกตรัม XPS

XPS (X-ray photoelectron [spectroscopy](https://www.moldraw.com/guides/)) วัดพลังงานของอิเล็กตรอนที่ถูกกระแทกออกจากชั้นผิวไม่กี่นาโนเมตรบนสุดของตัวอย่าง แต่ละธาตุมีระดับแกนที่**พลังงานยึดเหนี่ยว**ที่ทราบ การสแกนแบบสำรวจจึงบอกว่ามีธาตุใดบ้าง การเลื่อนเล็กน้อยของพีก หรือ**การเลื่อนทางเคมี (chemical shift)** บอกสถานะทางเคมี เช่น C-C, C-O, C=O และ O-C=O ในพอลิเมอร์ หรือ Si และ SiO2 บนเวเฟอร์

การเปรียบเทียบสถานะ ให้หักพื้นหลัง (ปกติเป็นแบบ **Shirley**) และฟิตพีกด้วยองค์ประกอบย่อย ระดับ p, d และ f แยกเป็น**ดับเบลต์สปิน-ออร์บิท**ที่มีระยะแยกและอัตราส่วนพื้นที่คงที่ เช่น Fe 2p3/2 และ Fe 2p1/2 การหารแต่ละพื้นที่ด้วย**แฟกเตอร์ความไว**ให้ร้อยละอะตอม ตัวเลขเหล่านี้ขึ้นกับเครื่องมือของคุณ จึงควรใช้เป็นค่าประมาณ เว้นแต่คุณมีแฟกเตอร์ของตัวเอง

## คำถามที่พบบ่อย

### ข้อมูลของฉันถูกอัปโหลดหรือไม่

ไม่ ไฟล์ถูกอ่าน ฟิต และวาดกราฟในเบราว์เซอร์ของคุณเท่านั้น

### เปิดไฟล์ใดได้บ้าง

ไฟล์ VAMAS .vms (มาตรฐาน ISO 14976 ที่ซอฟต์แวร์ XPS ส่วนใหญ่ส่งออกได้ แบบสแกนปกติ) ไฟล์ข้อความที่ส่งออกจาก CasaXPS ที่มีคอลัมน์ K.E. หรือ B.E. และไฟล์ CSV หรือ TXT ธรรมดาที่มีคอลัมน์พลังงานและคอลัมน์ความเข้ม ไฟล์ที่มีหลายช่วงจะแสดงแต่ละช่วงเป็นแท็บ

### จะแปลงพลังงานจลน์เป็นพลังงานยึดเหนี่ยวได้อย่างไร

ตั้งแกนพลังงานเป็น พลังงานจลน์ แล้วเลือกแหล่งรังสีเอกซ์ เครื่องมือใช้ BE = hν − KE โดย hν = 1486.6 eV สำหรับ Al Kα หรือ 1253.6 eV สำหรับ Mg Kα หรือค่าที่คุณพิมพ์ ถือว่าเวิร์กฟังก์ชันของสเปกโทรมิเตอร์รวมอยู่ในการสอบเทียบแล้ว ซึ่งเป็นวิธีของเครื่องมือส่วนใหญ่

### การแก้ไขประจุทำงานอย่างไร

ตัวอย่างที่เป็นฉนวนจะสะสมประจุ ทุกพีกจึงเลื่อนไปเท่ากัน วิธีแก้ทั่วไปคือเลื่อนพีก C-C / C-H ของคาร์บอนปนเปื้อน (adventitious carbon) ไปที่ 284.8 eV กด ตั้งจาก C 1s หรือพิมพ์ค่าการเลื่อน ค่าอ้างอิงเปลี่ยนได้ (บางห้องปฏิบัติการใช้ 285.0 eV) ค่าอ้างอิงนี้เป็นข้อตกลงที่มีข้อจำกัดที่ทราบกันดี จึงควรระบุว่าใช้ค่าใด

### พื้นหลังแบบ Shirley คืออะไร

พื้นหลังรูปขั้นบันไดที่สูงขึ้นทางด้านพลังงานยึดเหนี่ยวสูงของพีก ตามสัดส่วนของพื้นที่พีกที่พลังงานยึดเหนี่ยวต่ำกว่า ใช้จำลองอิเล็กตรอนที่สูญเสียพลังงานเล็กน้อยระหว่างทางออกมา ส่วนพื้นหลังแบบเส้นตรงคือเส้นตรงระหว่างสองปลายของหน้าต่างการฟิต

### ใช้รูปร่างเส้นแบบใดสำหรับพีก

ผลคูณ Gaussian-Lorentzian หรือ GL(m) แบบเดียวกับที่ CasaXPS ใช้ m คือร้อยละของ Lorentzian: 0 คือ Gaussian ล้วน และ 100 คือ Lorentzian ล้วน ค่า 30 เป็นค่าเริ่มต้นที่ใช้บ่อยสำหรับพอลิเมอร์และออกไซด์ โลหะมักต้องใช้รูปร่างแบบอสมมาตรซึ่งเครื่องมือนี้ไม่ได้จำลอง จึงควรฟิตพีกของโลหะอย่างระมัดระวัง

### จัดการดับเบลต์สปิน-ออร์บิทอย่างไร

ตั้งพีกเป็นดับเบลต์ p, d หรือ f แล้วพีกคู่จะถูกเพิ่มที่ระยะแยกคงที่และอัตราส่วนพื้นที่คงที่: 1:2 สำหรับ p (2p1/2 : 2p3/2), 2:3 สำหรับ d และ 3:4 สำหรับ f ระยะแยกมาจากตารางในตัวสำหรับธาตุทั่วไปและแก้ไขได้

### ค่าร้อยละอะตอมแม่นยำเพียงใด

แม่นยำเท่ากับแฟกเตอร์ความไวที่ใช้ แฟกเตอร์ในตัวเป็นค่าประมาณแบบ Scofield สำหรับ Al Kα และไม่รวมค่าการส่งผ่านของเครื่องวิเคราะห์หรือความลึกการหลุดออกของคุณ หากต้องการตัวเลขจริง ให้ป้อนแฟกเตอร์จากคลังข้อมูลของเครื่องมือคุณ การสแกนแบบสำรวจให้ค่าประมาณที่หยาบกว่าการสแกนช่วงแคบที่ฟิตแล้ว

### การระบุที่แนะนำมาจากไหน

มาจากตารางพลังงานยึดเหนี่ยวทั่วไปของธาตุและสถานะทางเคมีที่พบบ่อย ซึ่งเขียนขึ้นสำหรับเครื่องมือนี้จากความรู้ทั่วไป ค่าในเอกสารวิชาการกระจายตัวไม่กี่ทศนิยมของ eV จึงควรถือว่าคำแนะนำเป็นจุดเริ่มต้นและตรวจสอบกับตัวอย่างอ้างอิงหรือฐานข้อมูล

อัปเดตล่าสุด: 14 ตุลาคม 2026

## เครื่องมือและคู่มือที่เกี่ยวข้อง

ศึกษาต่อด้วย[โปรแกรมดูสเปกตรัม IR](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html) [โปรแกรมดูสเปกตรัมรามาน](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html) และ[โปรแกรมดูสเปกตรัม UV-Vis](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html) ใช้ฟรีและทำงานในเบราว์เซอร์

[**โปรแกรมดูสเปกตรัม IR**หาพีกและหมู่ฟังก์ชัน](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html)[**โปรแกรมดูสเปกตรัมรามาน**เส้นฐาน สไปก์ และแถบ](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html)[**โปรแกรมดูสเปกตรัม UV-Vis**แลมบ์ดาแมกซ์ เบียร์-แลมเบิร์ต แถบช่องว่างพลังงาน](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html)[**โปรแกรมดูไซคลิกโวลแทมเมทรี**E1/2 การแยกพีก HOMO/LUMO](https://www.moldraw.com/tools/cv-viewer/index.html)[**โปรแกรมดู TGA และ DSC**การสูญเสียมวล Tg การหลอมเหลว ΔH](https://www.moldraw.com/tools/tga-dsc-viewer/index.html)[**ตารางธาตุ**ข้อมูลธาตุแบบอินเทอร์แอคทีฟ](https://www.moldraw.com/th/tools/free-chem-tools/interactive-periodic-table.html)[**คู่มือสเปกโทรสโกปี**คู่มือการอ่านทั้งหมด](https://www.moldraw.com/guides/)[**คู่มือเครื่องมือทั้งหมดของ MolDraw**เครื่องมือฟรีทุกตัวในที่เดียว](https://www.moldraw.com/blog/moldraw-all-free-chemistry-tools-guide.html)