---
title: "Аппроксимация пиков РФЭС в браузере: коррекция заряда, фон Ширли и атомные % | Блог MolDraw"
url: https://www.moldraw.com/ru/blog/xps-viewer-peak-fitting-guide.html
description: "Практическое руководство по бесплатному просмотрщику РФЭС (XPS) MolDraw: открывайте данные VAMAS, CasaXPS или CSV, корректируйте заряд по C 1s, вычитайте фон Ширли, аппроксимируйте пики и дублеты и получайте атомные %."
lang: ru
publisher: Scidart Academy
generated: 2026-10-26
---
# Аппроксимация пиков РФЭС в браузере: коррекция заряда, фон Ширли, дублеты и атомные %

Опубликовано: 15 октября 2026 г. · Автор: Scidart Academy · Время чтения: ~6 мин

![Спектр РФЭС C 1s, разложенный на компоненты C–C, C–O и O–C=O над пунктирным фоном Ширли, энергия связи от 292 до 282 эВ](https://www.moldraw.com/blog/thumbs/xps-viewer-guide.webp)

Спектр C 1s, разложенный на компоненты C–C, C–O и O–C=O над фоном Ширли.

**Коротко:** откройте файл VAMAS (.vms), текст CasaXPS или CSV в бесплатном [просмотрщике РФЭС MolDraw](https://www.moldraw.com/ru/tools/xps-viewer/) или нажмите **C 1s (полимер)**. Нажмите **Задать по C 1s** для коррекции заряда, оставьте фон Ширли, затем нажмите **Авто-пики** или **Шаблон C 1s** и **Аппроксимировать**. Прочитайте атомные % и экспортируйте PNG или CSV с таблицей аппроксимации. Ваши файлы остаются на вашем устройстве.

## Попробуйте просмотрщик РФЭС здесь

Нажмите, чтобы загрузить рабочий просмотрщик на этой странице, или [откройте полную версию просмотрщика РФЭС](https://www.moldraw.com/ru/tools/xps-viewer/). Ваши файлы остаются на вашем устройстве.

## Зачем аппроксимировать данные РФЭС в браузере?

Данные РФЭС часто приходят из центра коллективного пользования в виде файла VAMAS или текста. Чтобы их прочитать, нужно скорректировать заряд, убрать фон, аппроксимировать компоненты и пересчитать площади в состав. Полные программные пакеты делают это хорошо, но не всегда под рукой. Просмотрщик охватывает основные шаги на одной странице — для первого знакомства, обучения или проверки присланной кем-то аппроксимации.

## Кратко о теории

**Энергия связи.** Рентгеновское излучение выбивает электроны с остовных уровней. Спектрометр измеряет их кинетическую энергию, и BE = hν − KE, а работа выхода учитывается калибровкой. Al Kα даёт hν = 1486,6 эВ, Mg Kα — 1253,6 эВ. Выходят только электроны из верхних нескольких нанометров, поэтому РФЭС видит поверхность.

**Химический сдвиг.** Связи с более электроотрицательными атомами сдвигают остовный уровень к большим энергиям связи. В C 1s ниже всего C–C/C–H, затем C–O, C=O и O–C=O.

**Коррекция заряда.** Диэлектрики заряжаются, и все пики смещаются на одну и ту же величину. Обычно пик C–C/C–H адвентивного углерода принимают за 284,8 эВ — это значение по умолчанию в просмотрщике. Некоторые лаборатории используют 285,0 эВ. Это соглашение с известными ограничениями, поэтому указывайте, какое значение вы использовали.

**Фон Ширли.** Электроны, теряющие энергию на выходе, повышают сигнал со стороны больших энергий связи от каждого пика. Фон Ширли моделирует эту ступень.

**Спин-орбитальные дублеты.** Уровни p, d и f расщепляются на два пика с фиксированным соотношением площадей: 1:2 для p, 2:3 для d и 3:4 для f. Расщепление зависит от элемента, например около 13,6 эВ для Fe 2p в таблице просмотрщика.

**Атомные %.** Разделите площадь пика каждого элемента на его коэффициент чувствительности, затем нормируйте результаты на 100 %.

## Какие файлы можно открыть

- **VAMAS** (.vms) — обменный формат ISO 14976 — с регулярными сканами.
- **Текстовый экспорт CasaXPS** со столбцами K.E. или B.E.
- **CSV, TXT, DAT или TSV** со столбцом энергии и столбцом интенсивности.

Открывайте по одному файлу. Каждая область файла получает свою кнопку над графиком. Для практики [скачайте пример .vms](https://www.moldraw.com/tools/xps-viewer/sample-xps.vms) с обзорным спектром, C 1s и O 1s. Все примеры смоделированы.

## Как аппроксимировать область: пошагово

1. Нажмите **Открыть файл РФЭС** или перетащите файл. Или нажмите пример: **C 1s (полимер)**, **Si 2p (Si / SiO2)**, **Дублет Fe 2p**, **Обзорный спектр** или **Пример .vms**.
2. Если данные в кинетической энергии, установите для **Оси энергии** значение «Кинетическая энергия» и выберите **Источник**.
3. Нажмите **Задать по C 1s** или введите **Сдвиг заряда (эВ)**. Опорное значение по умолчанию 284,8 эВ, его можно изменить.
4. Выберите область, проверьте **Остовный уровень** (например, C 1s) и выберите **Фон**. Увеличьте нужный участок и нажмите **Окно аппроксимации = текущий вид** или используйте **Вся область**.
5. Нажмите **Авто-пики**, или выберите **Добавить пик** и нажмите на график, или нажмите **Шаблон C 1s**. Затем нажмите **Аппроксимировать**.
6. Правьте в таблице метку, BE, FWHM, %L или тип дублета, фиксируйте значения или перетаскивайте пики в режиме **Переместить пик**. Снова нажмите **Аппроксимировать**.
7. Проверьте огибающую и линию остатка под спектром. Затем нажмите **Экспорт PNG** или **Экспорт CSV**.

## Что умеет просмотрщик

| Фон | Ширли, линейный или без фона, в выбранном вами окне аппроксимации. |
| --- | --- |
| Форма пика | Произведение Гаусса–Лоренца, GL(m). |
| Аппроксимация | Автоматические или ручные пики, шаблон C 1s, фиксация значений, **Одинаковая FWHM для всех пиков** и **Аппроксимировать и %L**. Выдаёт среднеквадратичный остаток и, где возможно, приведённый χ². |
| Дублеты | Дублеты p, d или f с расщеплением из встроенной таблицы, которую можно редактировать. |
| Отнесения | Предполагаемое химическое состояние для каждого пика. |
| Атомные % | По двум и более аппроксимированным областям, с редактируемыми коэффициентами чувствительности. |
| Обзорный спектр | Список элементов с линиями, степенью уверенности и грубыми атомными %. Области оже-электронов закрашены. |
| Экспорт | PNG графика. CSV с данными, фоном, компонентами, огибающей, таблицей аппроксимации и атомными %. |

## Как использовать на занятиях и в лаборатории

- **Обработка поверхности полимеров:** аппроксимируйте C 1s до и после плазменной обработки. Рост компонент C–O, C=O и O–C=O указывает на окисление поверхности. РФЭС видит только верхние несколько нанометров. Для объёма полимера [определите температуру плавления и кристалличность в просмотрщике ТГА и ДСК](https://www.moldraw.com/ru/blog/tga-dsc-viewer-guide.html).
- **Естественный оксид на кремнии:** пример Si 2p показывает Si как узкий дублет, а SiO2 — как более широкий пик при большей энергии связи.
- **Неизвестные поверхности:** откройте обзорный спектр, чтобы увидеть, какие элементы присутствуют.
- **Состав:** аппроксимируйте C 1s и O 1s в примере .vms и прочитайте отношение O/C в блоке атомных %.

## Советы и ограничения

- Каждой компоненте нужна химическая причина. Дополнительные пики всегда уменьшают остаток, но это не делает их реальными.
- Металлам часто нужна асимметричная форма линии, которую просмотрщик не моделирует. Спектры 2p переходных металлов также могут показывать сателлиты и мультиплетное расщепление, поэтому простая аппроксимация дублетом — приближение.
- Встроенные коэффициенты чувствительности — приблизительные значения для Al Kα относительно C 1s = 1. Для реальных чисел вводите коэффициенты из библиотеки своего прибора.
- Литературные энергии связи разбросаны на несколько десятых эВ. Проверяйте предложенные отнесения по справочнику.

## Вопросы и ответы

### Почему все мои пики примерно на 1 эВ выше ожидаемого?

Диэлектрический образец заряжается, когда его покидают электроны, и все пики смещаются в сторону больших энергий связи на одну и ту же величину. Нажмите «Задать по C 1s», чтобы сдвинуть пик C-C / C-H к опорной энергии, или введите сдвиг сами.

### Сколько компонент нужно для аппроксимации пика C 1s?

Столько, сколько позволяет химия. Начните со связей, которые ожидаются в образце, держите ширины близкими и добавляйте пик, только если в остатке видна чёткая воспроизводимая форма, объяснимая известным химическим состоянием.

### Почему фон Ширли, а не линейный?

Электроны, теряющие энергию на выходе, повышают сигнал со стороны больших энергий связи от пика. Фон Ширли повторяет эту ступень. Прямая линия подходит для небольших пиков на ровном фоне.

### Можно ли получить атомные % только по обзорному спектру?

Только приблизительно. Просмотрщик даёт грубые атомные % в таблице обзорного спектра. Для более точных значений аппроксимируйте узкие спектры каждого элемента и используйте коэффициенты чувствительности своего прибора.

## Другие бесплатные просмотрщики данных

[Просмотр РФЭС](https://www.moldraw.com/ru/tools/xps-viewer/) [Просмотр ЯМР](https://www.moldraw.com/ru/tools/nmr-viewer/) [Просмотр ИК-спектров](https://www.moldraw.com/ru/tools/ir-viewer/) [Просмотр масс-спектров](https://www.moldraw.com/ru/tools/mass-spec-viewer/) [Просмотр УФ-видимых спектров](https://www.moldraw.com/ru/tools/uv-vis-viewer/) [Просмотр спектров КР](https://www.moldraw.com/ru/tools/raman-viewer/) [Просмотр циклических вольтамперограмм](https://www.moldraw.com/ru/tools/cv-viewer/) [Просмотр ТГА и ДСК](https://www.moldraw.com/ru/tools/tga-dsc-viewer/) [Просмотр белков](https://www.moldraw.com/ru/tools/protein-viewer/) [Руководство по просмотру ЯМР](https://www.moldraw.com/ru/blog/nmr-spectrum-viewer-guide.html) [Руководство по просмотру ИК](https://www.moldraw.com/ru/blog/ir-spectrum-viewer-guide.html) [Руководство по масс-спектрам](https://www.moldraw.com/ru/blog/mass-spectrum-viewer-guide.html) [Руководство по просмотру УФ-видимых спектров](https://www.moldraw.com/ru/blog/uv-vis-spectrum-viewer-guide.html) [Руководство по просмотру спектров КР](https://www.moldraw.com/ru/blog/raman-spectrum-viewer-guide.html) [Руководство по циклической вольтамперометрии](https://www.moldraw.com/ru/blog/cyclic-voltammetry-viewer-guide.html) [Руководство по ТГА и ДСК](https://www.moldraw.com/ru/blog/tga-dsc-viewer-guide.html) [Руководство по структуре белков](https://www.moldraw.com/ru/blog/protein-structure-viewer-guide.html) [Все инструменты](https://www.moldraw.com/ru/tools/)

Последнее обновление: 15 октября 2026 г.