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title: "브라우저에서 XPS 피크 피팅: 대전 보정, Shirley 배경, 원자 % | MolDraw 블로그"
url: https://www.moldraw.com/ko/blog/xps-viewer-peak-fitting-guide.html
description: "무료 MolDraw XPS 뷰어 실용 가이드: VAMAS, CasaXPS, CSV 데이터를 열고, C 1s로 대전 보정하고, Shirley 배경을 빼고, 피크와 이중선을 피팅하고, 원자 %를 구합니다."
lang: ko
publisher: Scidart Academy
generated: 2026-10-26
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# 브라우저에서 XPS 피크 피팅: 대전 보정, Shirley 배경, 이중선, 원자 %

게시: 2026년 10월 15일 · 작성자: Scidart Academy · 읽는 시간: 약 6분

![점선 Shirley 배경 위에서 C–C, C–O, O–C=O 성분으로 피팅한 XPS C 1s 스펙트럼, 결합 에너지 292~282 eV](https://www.moldraw.com/blog/thumbs/xps-viewer-guide.webp)

Shirley 배경 위에서 C–C, C–O, O–C=O 성분으로 나눈 C 1s 스펙트럼.

**짧은 답:** 무료 [MolDraw XPS 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/xps-viewer/)에서 VAMAS(.vms), CasaXPS 텍스트, CSV 파일을 열거나 **C 1s (고분자)**를 누르세요. **C 1s로 설정**을 눌러 대전 보정하고, Shirley 배경을 유지한 채 **자동 피크**나 **C 1s 템플릿**을 누른 뒤 **피팅**을 누릅니다. 원자 %를 읽고 PNG나 피팅 표가 담긴 CSV로 내보내세요. 파일은 내 기기에만 머뭅니다.

## 여기서 XPS 뷰어를 사용해 보세요

클릭하면 이 페이지에서 뷰어가 실행됩니다. 또는 [전체 XPS 뷰어를 여세요](https://www.moldraw.com/ko/tools/xps-viewer/). 파일은 내 기기에만 머뭅니다.

## 왜 브라우저에서 XPS 데이터를 피팅할까요?

XPS 데이터는 공동 기기실에서 VAMAS나 텍스트 파일로 받는 경우가 많습니다. 이를 읽으려면 대전을 보정하고, 배경을 없애고, 성분을 피팅하고, 넓이를 조성으로 바꿔야 합니다. 전문 패키지는 이를 잘 하지만 늘 곁에 있지는 않습니다. 뷰어는 처음 살펴보거나, 가르치거나, 누군가 보낸 피팅을 확인할 때 필요한 핵심 단계를 한 페이지에 담았습니다.

## 과학 원리 간단 정리

**결합 에너지.** X선이 내각 준위의 전자를 튀어나오게 합니다. 분광계는 그 운동 에너지를 측정하며, BE = hν − KE이고 일함수는 보정에서 처리합니다. Al Kα는 hν = 1486.6 eV, Mg Kα는 1253.6 eV입니다. 표면에서 몇 나노미터 이내의 전자만 빠져나오므로 XPS는 표면을 봅니다.

**화학적 이동.** 전기 음성도가 더 큰 원자와의 결합은 내각 준위를 높은 결합 에너지 쪽으로 옮깁니다. C 1s에서는 C–C/C–H가 가장 낮고, 그다음 C–O, C=O, O–C=O 순입니다.

**대전 보정.** 절연체는 대전되어 모든 피크가 같은 양만큼 이동합니다. 흔한 해결책은 외래 탄소(adventitious carbon)의 C–C/C–H 피크를 뷰어 기본값인 284.8 eV로 맞추는 것입니다. 285.0 eV를 쓰는 실험실도 있습니다. 한계가 알려진 관례이므로 사용한 값을 밝히세요.

**Shirley 배경.** 빠져나오는 길에 에너지를 잃은 전자가 각 피크의 높은 결합 에너지 쪽 신호를 높입니다. Shirley 배경은 이 계단을 모델링합니다.

**스핀–궤도 이중선.** p, d, f 준위는 넓이 비가 고정된 두 피크로 갈라집니다: p는 1:2, d는 2:3, f는 3:4. 갈라짐 크기는 원소마다 다르며, 예를 들어 뷰어 표에서 Fe 2p는 약 13.6 eV입니다.

**원자 %.** 각 원소의 피크 넓이를 감도 인자로 나눈 뒤 합이 100%가 되도록 정규화합니다.

## 열 수 있는 파일

- 정규 스캔이 담긴 ISO 14976 교환 형식 **VAMAS**(.vms).
- K.E. 또는 B.E. 열이 있는 **CasaXPS 텍스트 내보내기**.
- 에너지 열과 세기 열이 있는 **CSV, TXT, DAT, TSV**.

한 번에 파일 하나씩 여세요. 파일의 각 영역마다 그래프 위에 버튼이 생깁니다. 연습하려면 서베이, C 1s, O 1s가 담긴 [샘플 .vms를 다운로드](https://www.moldraw.com/tools/xps-viewer/sample-xps.vms)하세요. 모든 예제는 시뮬레이션 데이터입니다.

## 단계별로 영역 피팅하기

1. **XPS 파일 열기**를 누르거나 파일을 끌어다 놓으세요. 또는 예제를 누르세요: **C 1s (고분자)**, **Si 2p (Si / SiO2)**, **Fe 2p 이중선**, **서베이 스캔**, **샘플 .vms**.
2. 데이터가 운동 에너지 단위라면 **에너지 축**을 운동 에너지로 정하고 **출처**(X선 광원)를 고르세요.
3. **C 1s로 설정**을 누르거나 **대전 이동 (eV)**을 입력하세요. 기준값은 284.8 eV에서 시작하며 바꿀 수 있습니다.
4. 영역을 고르고 **내각 준위**(예: C 1s)를 확인한 뒤 **배경**을 고르세요. 확대한 다음 **피팅 창 = 현재 보기**를 누르거나 **전체 영역**을 쓰세요.
5. **자동 피크**를 누르거나, **피크 추가**를 골라 그래프를 탭하거나, **C 1s 템플릿**을 누르세요. 그런 다음 **피팅**을 누릅니다.
6. 표에서 레이블, BE, FWHM, %L, 이중선 유형을 편집하거나, 값을 고정하거나, **피크 이동** 모드에서 피크를 드래그하세요. 다시 **피팅**을 누릅니다.
7. 스펙트럼 아래의 포락선과 잔차 선을 확인하세요. 그런 다음 **PNG 내보내기**나 **CSV 내보내기**를 누릅니다.

## 뷰어의 기능

| 배경 | 직접 고른 피팅 창에 대한 Shirley, 선형, 또는 없음. |
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| 피크 모양 | 가우스–로렌츠 곱 함수, GL(m). |
| 피팅 | 자동 또는 수동 피크, C 1s 템플릿, 값 고정, **모든 피크에 같은 FWHM**, **%L도 피팅**. RMS 잔차와, 가능한 경우 환산 χ²를 보고합니다. |
| 이중선 | 편집 가능한 내장 표의 갈라짐 값을 쓰는 p, d, f 이중선. |
| 귀속 | 각 피크에 대해 제안하는 화학 상태. |
| 원자 % | 편집 가능한 감도 인자로 둘 이상의 피팅 영역에서 계산. |
| 서베이 | 선, 신뢰도, 대략적인 원자 %가 있는 원소 목록. 오제 영역은 음영으로 표시됩니다. |
| 내보내기 | 그래프 PNG. 데이터, 배경, 성분, 포락선, 피팅 표, 원자 %가 담긴 CSV. |

## 수업과 실험실에서 활용하는 방법

- **고분자 표면 처리:** 플라스마 처리 전후의 C 1s를 피팅하세요. C–O, C=O, O–C=O 성분이 커지면 표면 산화를 뜻합니다. XPS는 표면 몇 나노미터만 봅니다. 고분자 벌크에 대해서는 [TGA 및 DSC 뷰어에서 녹는점과 결정화도를 찾으세요](https://www.moldraw.com/ko/blog/tga-dsc-viewer-guide.html).
- **규소의 자연 산화막:** Si 2p 예제는 Si를 좁은 이중선으로, SiO2를 더 높은 결합 에너지의 넓은 피크로 보여 줍니다.
- **미지 표면:** 서베이를 열어 어떤 원소가 있는지 보세요.
- **조성:** 샘플 .vms에서 C 1s와 O 1s를 피팅하고 원자 % 상자에서 O/C 비를 읽으세요.

## 팁과 한계

- 모든 성분에 화학적 근거를 두세요. 피크를 더하면 잔차는 항상 줄지만, 그렇다고 실제 성분인 것은 아닙니다.
- 금속은 보통 비대칭 선 모양이 필요한데, 뷰어는 이를 모델링하지 않습니다. 전이 금속 2p 스펙트럼에는 위성 피크와 다중항 갈라짐도 나타날 수 있으므로 단순 이중선 피팅은 근사입니다.
- 내장 감도 인자는 C 1s = 1에 대한 대략적인 Al Kα 값입니다. 실제 값을 얻으려면 장비 라이브러리의 인자를 입력하세요.
- 문헌의 결합 에너지는 0.몇 eV 정도 퍼져 있습니다. 제안된 귀속은 참고 자료와 대조하세요.

## 질문과 답변

### 모든 피크가 예상보다 약 1 eV 높은 이유는 무엇인가요?

절연성 시료는 전자가 빠져나가면서 대전되고, 모든 피크가 같은 양만큼 높은 결합 에너지 쪽으로 이동합니다. C 1s로 설정을 눌러 C-C / C-H 피크를 기준 에너지로 옮기거나, 이동량을 직접 입력하세요.

### C 1s 피크는 성분 몇 개로 피팅해야 하나요?

화학적으로 뒷받침되는 만큼만 하세요. 시료에 있을 것으로 예상되는 결합에서 시작하고, 폭은 비슷하게 유지하며, 잔차에 알려진 화학 상태로 설명되는 뚜렷하고 반복되는 모양이 보일 때만 피크를 추가하세요.

### 선형 배경 대신 Shirley 배경을 쓰는 이유는 무엇인가요?

빠져나오는 길에 에너지를 잃은 전자가 피크의 높은 결합 에너지 쪽 신호를 높입니다. Shirley 배경은 그 계단을 따라갑니다. 평평한 배경 위의 작은 피크에는 직선도 쓸 만합니다.

### 서베이 스캔만으로 원자 %를 구할 수 있나요?

대략적으로만 가능합니다. 뷰어는 서베이 표에 대략적인 원자 %를 보여 줍니다. 더 나은 값을 얻으려면 원소마다 좁은 범위 스캔을 피팅하고 내 장비의 감도 인자를 쓰세요.

## 더 많은 무료 데이터 뷰어

[XPS 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/xps-viewer/) [NMR 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/nmr-viewer/) [IR 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/ir-viewer/) [질량 스펙트럼 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/mass-spec-viewer/) [UV-Vis 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/uv-vis-viewer/) [라만 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/raman-viewer/) [순환 전압전류법 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/cv-viewer/) [TGA 및 DSC 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/tga-dsc-viewer/) [단백질 뷰어](https://www.moldraw.com/ko/tools/protein-viewer/) [NMR 뷰어 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/nmr-spectrum-viewer-guide.html) [IR 뷰어 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/ir-spectrum-viewer-guide.html) [질량 스펙트럼 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/mass-spectrum-viewer-guide.html) [UV-Vis 뷰어 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/uv-vis-spectrum-viewer-guide.html) [라만 뷰어 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/raman-spectrum-viewer-guide.html) [순환 전압전류법 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/cyclic-voltammetry-viewer-guide.html) [TGA 및 DSC 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/tga-dsc-viewer-guide.html) [단백질 구조 가이드](https://www.moldraw.com/ko/blog/protein-structure-viewer-guide.html) [모든 도구](https://www.moldraw.com/ko/tools/)

최종 업데이트: 2026년 10월 15일