--- title: "無料のXPSビューアとピークフィッティング（オンライン）：Shirley、ダブレット、原子% | MolDraw" url: https://www.moldraw.com/ja/tools/xps-viewer/ description: "無料のオンラインXPSビューア。CSV、VAMAS（.vms）、CasaXPSのテキストを開き、C 1sへの帯電補正、Shirleyまたは直線バックグラウンドの差し引き、スピン軌道ダブレットを含むガウス・ローレンツ型ピークのフィッティング、原子%の算出、サーベイスペクトルでの元素同定ができます。" lang: ja publisher: Scidart Academy generated: 2026-10-25 --- [MolDraw](https://www.moldraw.com/ja/) › [化学ツール](https://www.moldraw.com/ja/tools/) › XPSビューア # 無料のXPSビューアとピークフィッティング **概要：**CSV、VAMAS（.vms）、CasaXPSのテキストを開き、C 1sへの帯電補正、Shirleyまたは直線バックグラウンドの差し引き、スピン軌道ダブレットを含むガウス・ローレンツ型ピークのフィッティング、原子%の算出、サーベイスペクトルでの元素同定ができます。無料でWebブラウザ上で動作し、インストールは不要です。 XPSスペクトルを開き、C 1sへの帯電補正、Shirleyバックグラウンドの差し引き、スピン軌道ダブレットを含むピークフィッティングができます。面積から原子%を求め、サーベイスキャンで元素を見つけられます。ファイルはお使いのデバイスから外に出ません。 XPSファイルを開く またはここにドロップ。VAMAS（.vms）、CasaXPSのテキストエクスポート、CSV/TXT。 例を読み込む： 例はシミュレーションで、自由に再利用できます。[サンプル.vmsをダウンロード](https://www.moldraw.com/tools/xps-viewer/sample-xps.vms)（サーベイ、C 1s、O 1s）。 ## XPSビューアの使い方 1. VAMAS、CasaXPS、CSVのファイルを開くか、例のボタンを押します。 2. ファイルが運動エネルギーを使っている場合は、エネルギー軸を「運動エネルギー」にしてAlまたはMg Kαを選びます。 3. 帯電補正には「C 1sから設定」を押すか、シフト量を入力します。 4. 領域を選びます。内殻準位（たとえばC 1s）、バックグラウンド、フィッティング範囲を設定します。 5. 「自動ピーク」を押すか、「ピークを追加」を使ってプロットをタップします。C 1sではテンプレートを読み込めます。その後「フィット」を押します。 6. ピークを編集、固定、ドラッグし、ダブレットを設定して、もう一度「フィット」を押します。スペクトルの下の残差の線を確認します。 7. 原子%の欄、またはサーベイスペクトルでは元素の一覧を読み、PNGまたはフィッティング表付きのCSVをエクスポートします。 ## XPSスペクトルの読み方 XPS（X線光電子[分光法](https://www.moldraw.com/guides/)）は、試料の表面から数ナノメートルの範囲で叩き出された電子のエネルギーを測定します。各元素は既知の**結合エネルギー**に内殻準位を持つため、サーベイスキャンでどの元素が存在するかがわかります。ピークのわずかなずれである**化学シフト**から化学状態がわかります。たとえばポリマー中のC-C、C-O、C=O、O-C=O、ウェハー上のSiとSiO2などです。 状態を比較するには、バックグラウンド（通常は**Shirley**）を除去し、ピークを成分に分けてフィッティングします。p、d、fの準位は、固定の分裂幅と面積比を持つ**スピン軌道ダブレット**に分裂します（例：Fe 2p3/2とFe 2p1/2）。各面積を**感度係数**で割ると原子%が得られます。これらの値は装置に依存するため、自分の係数がない限り推定値として使ってください。 ## よくある質問 ### データはアップロードされますか？ いいえ。ファイルはブラウザ内でのみ読み込まれ、フィッティングされ、描画されます。 ### どのファイルを開けますか？ VAMAS .vmsファイル（ほとんどのXPSソフトがエクスポートできるISO 14976規格、通常のスキャン）、K.E.またはB.E.の列を持つCasaXPSのテキストエクスポート、エネルギーの列と強度の列を持つ通常のCSVまたはTXTです。複数の領域を含むファイルでは、各領域がタブとして表示されます。 ### 運動エネルギーを結合エネルギーに変換するには？ エネルギー軸を「運動エネルギー」にしてX線源を選びます。ツールはBE = hν − KEを使い、hνはAl Kαなら1486.6 eV、Mg Kαなら1253.6 eV、または入力した値です。ほとんどの装置と同様に、分光器の仕事関数は校正に含まれているものとします。 ### 帯電補正はどのように行いますか？ 絶縁性の試料は帯電するため、すべてのピークが同じ量だけずれます。一般的な補正方法は、表面汚染炭素のC-C / C-Hピークを284.8 eVに合わせることです。「C 1sから設定」を押すか、シフト量を入力します。基準値は変更できます（285.0 eVを使う研究室もあります）。この基準は限界が知られている慣例なので、どの値を使ったかを明記してください。 ### Shirleyバックグラウンドとは何ですか？ ピークの高結合エネルギー側で、低結合エネルギー側のピーク面積に比例して立ち上がる段差状のバックグラウンドです。試料から出てくる途中でわずかにエネルギーを失う電子をモデル化しています。直線バックグラウンドは、フィッティング範囲の両端を結ぶ直線です。 ### ピークにはどのような線形を使いますか？ CasaXPSと同じ種類の、ガウス関数とローレンツ関数の積GL(m)です。mはローレンツ成分の割合で、0は純粋なガウス型、100は純粋なローレンツ型です。ポリマーや酸化物では30から始めるのが一般的です。金属では非対称な線形が必要なことが多く、このツールではモデル化していないので、金属のピークは慎重にフィッティングしてください。 ### スピン軌道ダブレットはどのように扱いますか？ ピークをp、d、fのダブレットに設定すると、固定の分裂幅と固定の面積比で相方のピークが追加されます。面積比はpが1:2（2p1/2 : 2p3/2）、dが2:3、fが3:4です。分裂幅は一般的な元素について組み込みの表から取得し、編集もできます。 ### 原子%の値はどのくらい正確ですか？ 精度は感度係数の精度次第です。組み込みの係数はAl Kα用のおおよそのScofield型の値で、お使いのアナライザーの透過関数や脱出深さは含まれていません。実際の値を得るには、装置のライブラリの係数を入力してください。サーベイスペクトルからの値は、フィッティングしたナロースキャンよりも大まかな推定になります。 ### 帰属の候補はどこから来ていますか？ 一般的な元素と化学状態の典型的な結合エネルギーの表から取得しています。この表は一般的な知識をもとにこのツール用に作成したものです。文献値には0.数eVのばらつきがあるので、候補は出発点として扱い、標準試料やデータベースと照らし合わせて確認してください。 最終更新：2026年10月14日 ## 関連ツールとガイド 続けて[IRスペクトルビューア](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html)、[ラマンスペクトルビューア](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html)、[UV-Visスペクトルビューア](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html)もどうぞ。いずれも無料でブラウザで動作します。 [**IRスペクトルビューア**ピークと官能基を見つける](https://www.moldraw.com/tools/ir-viewer/index.html)[**ラマンスペクトルビューア**ベースライン、スパイク、ピーク](https://www.moldraw.com/tools/raman-viewer/index.html)[**UV-Visスペクトルビューア**λmax、ランベルト・ベールの法則、バンドギャップ](https://www.moldraw.com/tools/uv-vis-viewer/index.html)[**サイクリックボルタンメトリービューア**E1/2、ピーク分離、HOMO/LUMO](https://www.moldraw.com/tools/cv-viewer/index.html)[**TGA・DSCビューア**質量減少、Tg、融解、ΔH](https://www.moldraw.com/tools/tga-dsc-viewer/index.html)[**周期表**インタラクティブな元素データ](https://www.moldraw.com/ja/tools/free-chem-tools/interactive-periodic-table.html)[**分光法ガイド**スペクトルの読み方ガイド一覧](https://www.moldraw.com/guides/)[**MolDrawの全ツールガイド**すべての無料ツールを1か所に](https://www.moldraw.com/blog/moldraw-all-free-chemistry-tools-guide.html)